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高溫爐操作規程有哪些說明?
發布時間:2016年8月26日

高溫爐操作規程

一、 準備工作

a、檢查連接線是否正常。

b、檢查電源線接觸是否良好。

c、檢查密封性是否正常。

d、檢查冷卻水是否正常。

e,、準備所需工具:無水酒精、無塵紙、作業手套、帆布手套、耐高溫手套、口罩、石墨推車、不銹鋼托盤

 

二、開爐

a、打開主電源開關

b、向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板

c、將輸送車開關打至 OUT

d、清爐 清理爐膛內壁、石墨件及保溫材料上的污物

 

三、裝料

a、將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。

b、拔出限位桿,輸送車開關打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內,并確定輸送車會到初始位置。

c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關緊爐門。

 

四、抽氣

a、檢查爐門是否關緊,真空系統是否密封。

b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計開關 P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測試泄漏率。

c、當壓力表指示為 50Pa是關閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。

d、加熱 先打開水環泵 再按 RUN,開始工藝加熱。

e冷卻。加熱結束后,按工藝條件進行冷卻。

 

 

 

 

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